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  Particle-growth in hydrogen-methane plasmas

Shimizu, T., Jacob, W., Thomas, H., Morfill, G., Abe, T., Watanabe, Y., & Sato, N. (2006). Particle-growth in hydrogen-methane plasmas. Thin Solid Films, 506-507, 652-655. Retrieved from http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.059.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-1053-D 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-1054-B
資料種別: 学術論文

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:
Shimizu.pdf (全文テキスト（全般）), 706KB
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https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-1055-9
ファイル名:
Shimizu.pdf
説明:
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MIMEタイプ / チェックサム:
application/pdf / [MD5]
技術的なメタデータ:
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著作権日付:
-
著作権情報:
eDoc_access: PUBLIC
CCライセンス:
-

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作成者

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 作成者:
Shimizu, T.1, 著者
Jacob, W.2, 著者           
Thomas, H.1, 著者
Morfill, G.1, 著者
Abe, T.1, 著者
Watanabe, Y.1, 著者
Sato, N.1, 著者
所属:
1Centre for Interdisciplinary Plasma Science, Max-Planck-Institute for extraterrestrial Physics, Giessenbachstr. 1, 85741 Garching; Department of Electronic Device and Materials, Tohoku Institute of Technology, 35-1, Kasumi-cho, Yagiyama, Taihaku-ku, Sendai 982-8577, Japan; Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University, 6-10-1, Hakozaki, Higashi-ku, Fukuoka 812-8581, Japan; Tohoku University, 05, Aramaki-Aza-Aaoba, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan, ou_persistent22              
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

内容説明

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キーワード: 7th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST) and 17th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM), 2004-06-29 to 2004-07-02
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2006
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 293633
URI: http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.059
 学位: -

関連イベント

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Thin Solid Films
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: Elsevier
ページ: - 巻号: 506-507 通巻号: - 開始・終了ページ: 652 - 655 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -