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  In situ study of erosion and deposition of amorphous hydrogenated carbon films by exposure to the hydrogen atom beam

Markelj, S., Pelicon, P., Cadez, I., Schwarz-Selinger, T., & Jacob, W. (2012). In situ study of erosion and deposition of amorphous hydrogenated carbon films by exposure to the hydrogen atom beam. Journal of Vacuum Science and Technology A, 30: 041601 (8pp). doi:10.1116/1.4723637.

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-
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Öffentlich
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application/pdf / [MD5]
Technische Metadaten:
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-
Copyright Info:
eDoc_access: PUBLIC
Lizenz:
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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Markelj, S., Autor
Pelicon, P., Autor
Cadez, I., Autor
Schwarz-Selinger, T.1, Autor           
Jacob, W.1, Autor           
Affiliations:
1Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2012
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 573926
DOI: 10.1116/1.4723637
URI: http://dx.doi.org/10.1116/1.4723637
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Vacuum Science and Technology A
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
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Ort, Verlag, Ausgabe: AVS (American Vacuum Society) Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
Seiten: - Band / Heft: 30 Artikelnummer: 041601 (8pp) Start- / Endseite: - Identifikator: -