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Titel:
Journal of Vacuum Science and Technology A
Genre der Quelle:
Zeitschrift
Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe:
AVS (American Vacuum Society) Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
Seiten:
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Band / Heft:
30
Artikelnummer:
041601 (8pp)
Start- / Endseite:
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Identifikator:
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