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  Mechanical and chemical investigation of the interface between tungsten-based metallizations and annealed borophosphosilicate glass

Völker, B., Heinz, W., Matoy, K., Roth, R., Batke, J. M., Schöberl, T., et al. (2015). Mechanical and chemical investigation of the interface between tungsten-based metallizations and annealed borophosphosilicate glass. Thin Solid Films, 583, 170-176. doi:10.1016/j.tsf.2015.03.047.

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Urheber

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 Urheber:
Völker, Bernhard1, 2, Autor           
Heinz, Walther3, Autor           
Matoy, Kurt4, Autor           
Roth, R.5, Autor           
Batke, Johann Markus6, Autor           
Schöberl, Thomas7, Autor           
Cordill, Megan Jo8, Autor           
Dehm, Gerhard9, Autor           
Affiliations:
1KAI - Kompetenzzentrum Automobil- und Industrieelektronik GmbH, Technologiepark Villach, Europastrasse 8, 9524 Villach, Austria, ou_persistent22              
2Department of Materials Physics, Montanuniversität Leoben, Austria, ou_persistent22              
3Kompetenzzentrum Automobil- und Industrie-Elektronik GmbH, A-9524 Villach, Austria, ou_persistent22              
4Infineon Technologies AG Austria, Villach, Austria, ou_persistent22              
5Infineon Technologies AG, 9500 Villach, Austria, ou_persistent22              
6Infineon Technologies AG, 93049 Regensburg, Germany, ou_persistent22              
7Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, A-8700 Leoben, Austria, ou_persistent22              
8Erich Schmid Institute of Materials Science, Leoben, Austria, ou_persistent22              
9Structure and Nano-/ Micromechanics of Materials, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_1863398              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2015-05-29
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1016/j.tsf.2015.03.047
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
  Kurztitel : Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 583 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 170 - 176 Identifikator: ISSN: 0040-6090
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925449792