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  Modeling and Optimal Control of Chemical Mechanical Planarization

Dürigen, S., Benner, P., & Stöckgen, U. (2011). Modeling and Optimal Control of Chemical Mechanical Planarization. In T. Lery, M. Primicerio, M. J. Esteban, M. Fontes, Y. Maday, V. Mehrmann, et al. (Eds.), European Success Stories in Industrial Mathematics (pp. 76). Springer-Verlag Berlin Heidelberg.

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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Dürigen, Susan1, Autor
Benner, Peter1, 2, Autor           
Stöckgen, Uwe3, Autor
Affiliations:
1TU Chemnitz, ou_persistent22              
2Other publications of the MPI staff, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems, Max Planck Society, ou_1738149              
3GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One Limited Liability Company & Co. KG, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 2011
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: European Success Stories in Industrial Mathematics
Genre der Quelle: Buch
 Urheber:
Lery, T., Herausgeber
Primicerio, M., Herausgeber
Esteban, M. J., Herausgeber
Fontes, M., Herausgeber
Maday, Y., Herausgeber
Mehrmann, V., Herausgeber
Quadros, G., Herausgeber
Schilders, W., Herausgeber
Schuppert, A., Herausgeber
Tewkesbury, H., Herausgeber
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Seiten: 136 Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 76 Identifikator: ISBN: 978-3-642-23847-5
DOI: 10.1007/978-3-642-23848-2