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  The influence of surface roughness on the angular dependence of the sputter yield

Küstner, M., Eckstein, W., Dose, V., & Roth, J. (1998). The influence of surface roughness on the angular dependence of the sputter yield. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 145(3), 320-331. doi:10.1016/S0168-583X(98)00399-1.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-87D9-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-87DA-A
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Küstner, M.1, Autor           
Eckstein, W.2, Autor           
Dose, V.2, Autor           
Roth, J.2, Autor           
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1998
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 626586
DOI: 10.1016/S0168-583X(98)00399-1
URI: http://dx.doi.org/10.1016/S0168-583X(98)00399-1
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 145 (3) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 320 - 331 Identifikator: -