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  Multivariate analysis of noise-corrupted PECVD data

von Keudell, A., Annen, A., & Dose, V. (1997). Multivariate analysis of noise-corrupted PECVD data. Thin Solid Films, 307, 65-70. doi:10.1016/S0040-6090(97)00313-1.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8989-1 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-898A-0
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
von Keudell, A.1, Autor           
Annen, A.1, Autor           
Dose, V.1, Autor           
Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1997
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 233780
DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00313-1
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 307 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 65 - 70 Identifikator: ISSN: 00406090