Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT

DownloadE-Mail

Lokale TagsFreigabegeschichteDetailsÜbersicht

Surface reactions during plasma-enhanced chemical vapor deposition of hydrocarbon films

Keudell, A. v. (1997). Surface reactions during plasma-enhanced chemical vapor deposition of hydrocarbon films. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 125(1-4), 323-327. doi:10.1016/S0168-583X(96)00893-2.

Item is Freigegeben

einblenden: alle ausblenden: alle

Basisdaten

einblenden: ausblenden:

Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8A18-8 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8A19-6

Genre: Zeitschriftenartikel

Dateien

einblenden: Dateien

Externe Referenzen

Urheber

ausblenden:

Urheber:
Keudell, A. von¹, Autor

Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288

Inhalt

ausblenden:

Schlagwörter: 11th International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions, Wangerooge, Germany, 1996-09-22 to 1996-09-27

Zusammenfassung: -

Details

ausblenden:

Sprache(n): eng - English

Datum: Erschienen: 1997

Publikationsstatus: Erschienen

Seiten: -

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Inhaltsverzeichnis: -

Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung

Identifikatoren: eDoc: 624766
DOI: 10.1016/S0168-583X(96)00893-2
URI: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0168583X96008932

Art des Abschluß: -

Veranstaltung

Entscheidung

Projektinformation

Quelle 1

ausblenden:

Titel: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

Genre der Quelle: Zeitschrift

Urheber:

Affiliations:

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Seiten: - Band / Heft: 125 (1-4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 323 - 327 Identifikator: -