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  Interaction of hydrogen plasmas with hydrocarbon films, investigated by infrared spectroscopy using an optical cavity substrate

Keudell, A. v., & Jacob, W. (1997). Interaction of hydrogen plasmas with hydrocarbon films, investigated by infrared spectroscopy using an optical cavity substrate. Journal of Vacuum Science and Technology A, 15(2), 402-407. doi:10.1116/1.580498.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8A2F-5 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8A30-0
資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Keudell, A. von1, 著者           
Jacob, W.1, 著者           
所属:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

内容説明

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資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 1997
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 624781
DOI: 10.1116/1.580498
URI: http://dx.doi.org/10.1116/1.580498
 学位: -

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出版物 1

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出版物名: Journal of Vacuum Science and Technology A
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: 15 (2) 通巻号: - 開始・終了ページ: 402 - 407 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -