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  Temporal aspects of sputtering of TaC targets

Vichev, R. G., & Eckstein, W. (1995). Temporal aspects of sputtering of TaC targets. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 102(1-4), 272-276. doi:10.1016/0168-583X(94)00796-9.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8E91-9 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8E92-7
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Vichev, R. G., Autor
Eckstein, W.1, Autor           
Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

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Schlagwörter: 2nd International Conference on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids, Santa Barbara, 1994-07-24 to 1994-07-29
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1995
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 627681
DOI: 10.1016/0168-583X(94)00796-9
URI: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0168583X9580153D
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 102 (1-4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 272 - 276 Identifikator: -