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  Absolute CH Radical Density Measurements in an ECR Methane Plasma

Engelhard, M., Jacob, W., & Moeller, W. (1993). Absolute CH Radical Density Measurements in an ECR Methane Plasma. In J. E. Harry (Ed.), 11th International Symposium on Plasma Chemistry. Symposium Proceedings (pp. 1392-1397).

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-91CE-A Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-91CF-8
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Engelhard, M.1, Autor           
Jacob, W.2, Autor           
Moeller, W.2, Autor           
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1993
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Interne Begutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 630210
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 11th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 11)
Veranstaltungsort: Loughborough
Start-/Enddatum: 1993-08-22 - 1993-08-27

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: 11th International Symposium on Plasma Chemistry. Symposium Proceedings
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Harry, J. E., Herausgeber
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1392 - 1397 Identifikator: -