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Ion stimulated densification of amorphous carbon films

Ullmann, J., Wolf, G. K., & Möller, W. (1993). Ion stimulated densification of amorphous carbon films. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 1507-1510. doi:10.1016/0168-583X(93)90831-P.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9273-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9274-A

Genre: Zeitschriftenartikel

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Externe Referenzen

Urheber

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Urheber:
Ullmann, J., Autor
Wolf, G. K., Autor
Möller, W.¹, Autor

Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288

Inhalt

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Schlagwörter: 8th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, Heidelberg, Germany, 1992-09-07 to 1992-09-11

Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English

Datum: Erschienen: 1993

Publikationsstatus: Erschienen

Seiten: -

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Inhaltsverzeichnis: -

Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung

Identifikatoren: eDoc: 633796
DOI: 10.1016/0168-583X(93)90831-P
URI: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0168583X9390831P

Art des Abschluß: -

Veranstaltung

Entscheidung

Projektinformation

Quelle 1

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Titel: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

Genre der Quelle: Zeitschrift

Urheber:

Affiliations:

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Seiten: Part 2 Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1507 - 1510 Identifikator: -