Plasma and surface modeling of the deposition of hydrogenated carbon films from 
low-pressure methane plasmas

Möller, W.

doi:10.1007/BF00331402

アイテム詳細

登録内容を編集ファイル形式で保存

一時保存へ追加

タグ情報を表示リリース履歴を表示詳細要約

Plasma and surface modeling of the deposition of hydrogenated carbon films from low-pressure methane plasmas

Möller, W. (1993). Plasma and surface modeling of the deposition of hydrogenated carbon films from low-pressure methane plasmas. Applied Physics A - Materials Science & Processing, 56(6), 527-546. doi:10.1007/BF00331402.

Item is 公開

表示: 全項目非表示: 全項目

基本情報

表示: 非表示:

アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9275-8 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9276-6

資料種別: 学術論文

ファイル

表示: ファイル

作成者

表示:

非表示:

作成者:
Möller, W.¹, 著者

所属:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288

内容説明

表示:

資料詳細

表示:

非表示:

言語: eng - English

日付: 出版: 1993

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 633797
DOI: 10.1007/BF00331402
URI: http://link.springer.com/article/10.1007%2FBF00331402

学位: -

訴訟

表示:

Project information

表示:

出版物 1

表示:

非表示:

出版物名: Applied Physics A - Materials Science & Processing

種別: 学術雑誌

著者・編者:

所属:

出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 56 (6) 通巻号: - 開始・終了ページ: 527 - 546 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

アイテム詳細

基本情報

ファイル

関連URL

作成者

内容説明

資料詳細

関連イベント

訴訟

Project information

出版物 1