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  Messung und Modellierung absoluter Radikaldichten in einem ECR-Methanplasma.

Engelhard, M. (1993). Messung und Modellierung absoluter Radikaldichten in einem ECR-Methanplasma. PhD Thesis, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Garching (DE).

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9323-7 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9324-5
Genre: Hochschulschrift

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Engelhard, M.1, Autor           
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum: 1993
 Publikationsstatus: Angenommen
 Seiten: 125 p.
 Ort, Verlag, Ausgabe: Garching (DE) : Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 655336
Anderer: IPP 4/262
 Art des Abschluß: Doktorarbeit

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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