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  Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das Schichtwachstum von C:H Schichten. - Ion energy distributions in an ECR-plasma and their influence on the deposition of C:H-films.

Reinek, P. (1992). Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das Schichtwachstum von C:H Schichten. - Ion energy distributions in an ECR-plasma and their influence on the deposition of C:H-films. PhD Thesis, Technische Universität München, München (DE).

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9464-9 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9465-7
Genre: Hochschulschrift

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Reinek, P.1, Autor
Affiliations:
1Max Planck Society, ou_persistent13              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum: 1992
 Publikationsstatus: Angenommen
 Seiten: 132 p.
 Ort, Verlag, Ausgabe: München (DE) : Technische Universität München
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 655341
Anderer: IPP 4/256
 Art des Abschluß: Doktorarbeit

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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