Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das 
Schichtwachstum von C:H Schichten. - Ion energy distributions in an ECR-plasma 
and their influence on the deposition of C:H-films.

Reinek, P.

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Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das Schichtwachstum von C:H Schichten. - Ion energy distributions in an ECR-plasma and their influence on the deposition of C:H-films.

Reinek, P. (1992). Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das Schichtwachstum von C:H Schichten. - Ion energy distributions in an ECR-plasma and their influence on the deposition of C:H-films. PhD Thesis, Technische Universität München, München (DE).

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Item Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9464-9 Version Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-9465-7

Genre: Thesis

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Creators:
Reinek, P.¹, Author

Affiliations:
1Max Planck Society, ou_persistent13

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Language(s): deu - German

Dates: Accepted: 1992

Publication Status: Accepted / In Press

Pages: 132 p.

Publishing info: München (DE) : Technische Universität München

Table of Contents: -

Rev. Type: -

Identifiers: eDoc: 655341
Other: IPP 4/256

Degree: PhD

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