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  Measuring electro-mechanical properties of thin films on polymer substrates

Cordill, M. J., Glushko, O., Kreith, J., Marx, V. M., & Kirchlechner, C. (2015). Measuring electro-mechanical properties of thin films on polymer substrates. Microelectronic Engineering, 137(1), 96-100. doi:10.1016/j.mee.2014.08.002.

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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Cordill, Megan Jo1, Autor           
Glushko, Oleksandr2, Autor           
Kreith, Josef3, Autor           
Marx, Vera Maria4, Autor           
Kirchlechner, Christoph5, Autor           
Affiliations:
1Erich Schmid Institute of Materials Science, Leoben, Austria, ou_persistent22              
2Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Jahnstrasse 12, Leoben, Austria, ou_persistent22              
3Department of Material Physics, Montanuniversität Leoben, Jahnstrasse 12, Leoben, Austria, ou_persistent22              
4Structure and Nano-/ Micromechanics of Materials, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_1863398              
5Nano-/ Micromechanics of Materials, Structure and Nano-/ Micromechanics of Materials, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_1863401              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2015
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1016/j.mee.2014.08.002
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Microelectronic Engineering
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Amsterdam : Elsevier
Seiten: 5 Band / Heft: 137 (1) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 96 - 100 Identifikator: ISSN: 0167-9317
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925484690