Energy Distributions of Sputtered Particles

Eckstein, W.

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Energy Distributions of Sputtered Particles

Eckstein, W. (1987). Energy Distributions of Sputtered Particles. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. B, 18, 344-348.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-A355-C 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-A356-A

資料種別: 学術論文

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Eckstein, W.¹, 著者

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1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288

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日付: 出版: 1987

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出版物名: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. B

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 18 通巻号: - 開始・終了ページ: 344 - 348 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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