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  Contributions of Backscattered Ions to Sputtering Yields Depending on Primary Ion Energy

Weissmann, R., & Behrisch, R. (1973). Contributions of Backscattered Ions to Sputtering Yields Depending on Primary Ion Energy. Ion Surface Interaction, 19, 55-61.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-B161-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-B162-E
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Weissmann, R.1, Autor           
Behrisch, R.1, Autor           
Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 1973
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Ion Surface Interaction
Veranstaltungsort: Garching (DE)
Start-/Enddatum: -

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Ion Surface Interaction
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 19 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 55 - 61 Identifikator: -