Diagnostics of an RF Sputtering Glow Discharge - Correlation Between Atomic 
Absorption and Mass Spectrometry

Eckstein, E.W.; Coburn, J.W.; Kay, E.

アイテム詳細

登録内容を編集ファイル形式で保存

一時保存へ追加

Diagnostics of an RF Sputtering Glow Discharge - Correlation Between Atomic Absorption and Mass Spectrometry

Eckstein, E., Coburn, J., & Kay, E. (1975). Diagnostics of an RF Sputtering Glow Discharge - Correlation Between Atomic Absorption and Mass Spectrometry. International Journal of Mass Spectrometry and Ion Physics, 17, 129-138.

Item is 公開

表示: 全項目非表示: 全項目

基本情報

表示: 非表示:

アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-B726-C 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-B727-A

資料種別: 学術論文

ファイル

表示: ファイル

作成者

表示:

非表示:

作成者:
Eckstein, E.W.¹, 著者
Coburn, J.W.¹, 著者
Kay, E.¹, 著者

所属:
1External Organizations, ou_persistent22

内容説明

表示:

資料詳細

表示:

非表示:

言語:

日付: 出版: 1975

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: -

学位: -

訴訟

表示:

Project information

表示:

出版物 1

表示:

非表示:

出版物名: International Journal of Mass Spectrometry and Ion Physics

種別: 学術雑誌

著者・編者:

所属:

出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 17 通巻号: - 開始・終了ページ: 129 - 138 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

アイテム詳細

基本情報

ファイル

関連URL

作成者

内容説明

資料詳細

関連イベント

訴訟

Project information

出版物 1