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  Diagnostics of an RF Sputtering Glow Discharge - Correlation Between Atomic Absorption and Mass Spectrometry

Eckstein, E., Coburn, J., & Kay, E. (1975). Diagnostics of an RF Sputtering Glow Discharge - Correlation Between Atomic Absorption and Mass Spectrometry. International Journal of Mass Spectrometry and Ion Physics, 17, 129-138.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-B726-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-B727-A
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Eckstein, E.W.1, Autor
Coburn, J.W.1, Autor
Kay, E.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 1975
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: International Journal of Mass Spectrometry and Ion Physics
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 17 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 129 - 138 Identifikator: -