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  Elemental Composition Profiling in Thin Films by Glowdischarge Mass Spectrometry: Depth Resolution

Coburn, J., Eckstein, E., & Kay, E. (1975). Elemental Composition Profiling in Thin Films by Glowdischarge Mass Spectrometry: Depth Resolution. Journal of Applied Physics, 46, 7, 2828-2830.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-B72E-B Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-B72F-9
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Coburn, J.W.1, Autor
Eckstein, E.W.1, Autor
Kay, E.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 1975
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Applied Physics
Genre der Quelle: Zeitschrift
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Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 46, 7 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 2828 - 2830 Identifikator: -