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  Sputtering Yields for Light Ions as a Function of Angle of Incidence

Bay, H., & Bohdansky, J. (1979). Sputtering Yields for Light Ions as a Function of Angle of Incidence. Applied Physics, 19, 421-426.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-BA9C-A Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-BA9D-8
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Bay, H.L.1, Autor
Bohdansky, J.2, Autor           
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 1979
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Applied Physics
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 19 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 421 - 426 Identifikator: -