Sputtering Calculations for Low Energy Light Ions

Behrisch, R.; Maderlechner, G.; Scherzer, B.M.U.

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Sputtering Calculations for Low Energy Light Ions

Behrisch, R., Maderlechner, G., & Scherzer, B. (1978). Sputtering Calculations for Low Energy Light Ions. In Atomic and Surface Physics (pp. 33-37).

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-BC59-E 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-BC5A-C

資料種別: 会議論文

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Behrisch, R.¹, 著者
Maderlechner, G.², 著者
Scherzer, B.M.U.³, 著者

所属:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288
2Max Planck Institute for Plasma Physics, ou_persistent27
3External Organizations, ou_persistent22

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日付: 出版: 1978

出版の状態: 出版

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出版物名: Atomic and Surface Physics

種別: 会議論文集

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ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: 33 - 37 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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