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  On the Influence of Reactive Gases on Sputtering and Secondary Ion Emission

Hofer, W., & Martin, P. (1978). On the Influence of Reactive Gases on Sputtering and Secondary Ion Emission. Applied Physics, 16, 271-278.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-BD0D-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-BD0E-E
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Hofer, W.O.1, Autor
Martin, P.J.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 1978
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Applied Physics
Genre der Quelle: Zeitschrift
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Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 16 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 271 - 278 Identifikator: -