Physikalische Grundlagen moderner Methoden der Oberflaechenanalyse

Taglauer, E.; Frey, H.; Heiland, W.; Kienel, K.

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Physikalische Grundlagen moderner Methoden der Oberflaechenanalyse

Taglauer, E., Frey, H., Heiland, W., & Kienel, K. (1987). Physikalische Grundlagen moderner Methoden der Oberflaechenanalyse. In Duennschichttechnologie (pp. 314-339).

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-C007-5 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-C008-3

Genre: Buchkapitel

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Urheber:
Taglauer, E.¹, Autor
Frey, H.², Autor
Heiland, W.³, Autor
Kienel, K.⁴, Autor

Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288
2Max Planck Institute for Plasma Physics, ou_persistent27
3Experimental Plasma Physics 2 (E2), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856292
4External Organizations, ou_persistent22