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  Dynamic Computer Simulation of High Energy Ion Implantation

Moeller, W. (1989). Dynamic Computer Simulation of High Energy Ion Implantation. Materials Science and Engineering, B2, 21-25.

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Urheber

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 Urheber:
Moeller, W.1, Autor           
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1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 1989
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
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 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Materials Science and Engineering
Genre der Quelle: Zeitschrift
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Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: B2 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 21 - 25 Identifikator: -