Limitations of Interface Sharpness in a-Si:H/a-SiC:H Multilayers

Schwarz, R.; Fischer, T.; Hanesch, P.; Muschik, T.; Kolodzey, J.; Cerva, H.; Meyerheim, H.L.; Scherzer, B.M.U.

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Limitations of Interface Sharpness in a-Si:H/a-SiC:H Multilayers

Schwarz, R., Fischer, T., Hanesch, P., Muschik, T., Kolodzey, J., Cerva, H., et al. (1991). Limitations of Interface Sharpness in a-Si:H/a-SiC:H Multilayers. Appl. Surf. Science, 50, 456-461.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-CA92-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-CA93-A

Genre: Zeitschriftenartikel

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Urheber:
Schwarz, R.¹, Autor
Fischer, T.¹, Autor
Hanesch, P.², Autor
Muschik, T.¹, Autor
Kolodzey, J.¹, Autor
Cerva, H.¹, Autor
Meyerheim, H.L.¹, Autor
Scherzer, B.M.U.¹, Autor

Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288