The Effect of Target Texture on Spatial Distribution of Sputtered Material

Zhukova, Yu.N.; Eisert, J. (Uebers. ); Mashkova, E.S.; Molchanov, V.A.; Eckstein, W.; et al.,

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The Effect of Target Texture on Spatial Distribution of Sputtered Material

Zhukova, Y., Eisert, J. (. )., Mashkova, E., Molchanov, V., Eckstein, W., & et al., (1992). The Effect of Target Texture on Spatial Distribution of Sputtered Material. Poverkhnost, 12, 19-23.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-CC33-1 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-CC34-0

資料種別: 学術論文

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Zhukova, Yu.N.¹, 著者
Eisert, J. (Uebers. )¹, 著者
Mashkova, E.S.¹, 著者
Molchanov, V.A.¹, 著者
Eckstein, W.², 著者
et al.¹, 著者

所属:
1External Organizations, ou_persistent22
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288

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日付: 出版: 1992

出版の状態: 出版

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出版物名: Poverkhnost

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 12 通巻号: - 開始・終了ページ: 19 - 23 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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