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  Comparative study of ALD SiO2 thin films for optical applications

Pfeiffer, K., Shestaeva, S., Bingel, A., Munzert, P., Ghazaryan, L., van Helvoirt, C., et al. (2016). Comparative study of ALD SiO2 thin films for optical applications. Optical materials express, 6(2), 660-670. doi:10.1364/OME.6.000660.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0029-B039-7 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-E12E-E
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Pfeiffer, K.1, Autor
Shestaeva, S.2, Autor
Bingel, A.1, 2, Autor
Munzert, P.2, Autor
Ghazaryan, L.1, Autor
van Helvoirt, C.3, Autor
Kessels, W. M. M.3, Autor
Sanli, U. T.4, Autor           
Grévent, C.4, Autor           
Schütz, G.4, Autor           
Putkonen, M.5, Autor
Buchanan, I.6, Autor
Jensen, L.7, Autor
Ristau, D.7, Autor
Tünnermann, A.1, 2, Autor
Szeghalmi, A.1, 2, Autor
Affiliations:
1Institute of Applied Physics, Abbe Center of Phontonics, Friedrich Schiller University Jena, Albert-Einstein-Str. 13, 07745 Jena, Germany, ou_persistent22              
2Fraunhofer Institute for Applied Optics and Prescision Engineering IOF, Albert-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany, ou_persistent22              
3Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology, Eindhoven, The Netherlands, ou_persistent22              
4Dept. Modern Magnetic Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497648              
5VTT Technical Research Centre Finland, P.O. Box 1000, 02044 VTT, Espoo, Finland, ou_persistent22              
6Air Products & Chemicals Inc., 7201 Hamilton Blvd., Allentown, PA 18195, USA, ou_persistent22              
7Laser Zentrum Hannover e.V., Hollerithallee 8, 30419 Hannover, Germany, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: Abt. Schütz
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2016-01-27
 Publikationsstatus: Online veröffentlicht
 Seiten: 11
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1364/OME.6.000660
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Optical materials express
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Washington, DC : OSA
Seiten: - Band / Heft: 6 (2) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 660 - 670 Identifikator: Anderer: 2159-3930
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/21593930