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  Understanding of PS-b-PMMA phase segregation under laser induced millisecond thermal annealing

Jacobs, A. G., Liedel, C., Ober, C. K., & Thompson, M. O. (2015). Understanding of PS-b-PMMA phase segregation under laser induced millisecond thermal annealing. In Alternative Lithographic Technologies VII. doi:10.1117/12.2086057.

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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Jacobs, Alan G.1, Autor
Liedel, Clemens2, Autor           
Ober, Christopher K.1, Autor
Thompson, Michael O.1, Autor
Affiliations:
1external, ou_persistent22              
2External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 2015
 Publikationsstatus: Online veröffentlicht
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: ISI: 000354204900006
DOI: 10.1117/12.2086057
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Conference on Alternative Lithographic Technologies VII
Veranstaltungsort: San Jose, CA
Start-/Enddatum: 2015-02-23 - 2015-02-26

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Alternative Lithographic Technologies VII
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: SPIE; DNS Elect LLC Band / Heft: - Artikelnummer: 942309 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0277-786X
ISBN: 978-1-62841-525-4

Quelle 2

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Titel: Proceedings of SPIE
Genre der Quelle: Reihe
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 9423 Artikelnummer: - Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0277-786X