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  Control of Ti1−xSixN nanostructure via tunable metal-ion momentum transfer during HIPIMS/DCMS co-deposition

Greczynski, G., Patscheider, J., Lu, J., Alling, B., Ektarawong, A., Jensen, J. M., et al. (2015). Control of Ti1−xSixN nanostructure via tunable metal-ion momentum transfer during HIPIMS/DCMS co-deposition. Surface and Coatings Technology, 280, 174-184. doi:10.1016/j.surfcoat.2015.09.001.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002A-5A1A-E Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002A-5A1D-8
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Greczynski, Grzegorz1, Autor           
Patscheider, Joerg2, Autor           
Lu, Jun1, Autor           
Alling, Björn3, 4, Autor           
Ektarawong, A.5, Autor           
Jensen, Jens M.4, Autor           
Petrov, Ivan G.1, 6, 7, 8, Autor           
Greene, Joseph E.1, 6, 7, 8, Autor           
Hultman, Lars4, Autor           
Affiliations:
1Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linköping University, SE-581 83 Linköping, Sweden, ou_persistent22              
2Laboratory of Nanoscale Materials Science, Empa, Überlandstr. 129, 8600 Dübendorf, Switzerland, ou_persistent22              
3Adaptive Structural Materials (Simulation), Computational Materials Design, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_1863339              
4Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Thin Film Physics Division, Linköping University, Linköping, Sweden, ou_persistent22              
5Thin Film Physics Division, Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linköping University, Linköping, Sweden, ou_persistent22              
6Department of Materials Science, University of Illinois, Urbana, IL 61801, USA, ou_persistent22              
7Department of Physics, University of Illinois, Urbana, IL 61801, USA, ou_persistent22              
8Frederick Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois, Urbana, IL 61801, USA, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2015-09-012015-09-052015-10-25
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1016/j.surfcoat.2015.09.001
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Surface and Coatings Technology
  Kurztitel : Surf. Coat. Tech.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Lausanne : Elsevier
Seiten: - Band / Heft: 280 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 174 - 184 Identifikator: ISSN: 0257-8972
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925496044