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  Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45 μm pitch on HV-CMOS chips—Simulation and experiment

Wagner, J., Koenig, K., Foertsch, T., Löffler, F., Fernandez, S., Felgenhauer, T., et al. (2011). Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45 μm pitch on HV-CMOS chips—Simulation and experiment. Sensors and Actuators A: Physical, 172(2), 533-545. doi:10.1016/j.sna.2011.06.017.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002C-567E-E Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002C-567F-C
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Wagner, J., Autor
Koenig, K., Autor
Foertsch, T., Autor
Löffler, Felix1, Autor           
Fernandez, S., Autor
Felgenhauer, T., Autor
Painke, F., Autor
Torralba, G., Autor
Lindenstruth, V., Autor
Stadler, V., Autor
Bischoff, F.R., Autor
Breitling, F., Autor
Hausmann, M., Autor
Nesterov-Mueller, A., Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 2011
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1016/j.sna.2011.06.017
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Sensors and Actuators A: Physical
  Andere : Sens. Actuators A-Phys.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: New York, NY : Elsevier
Seiten: - Band / Heft: 172 (2) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 533 - 545 Identifikator: ISSN: 0924-4247