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  Depth resolution in sputter profiling revisited

Hofmann, S., Liu, Y., Jian, W., Kang, H. L., & Wang, J. Y. (2016). Depth resolution in sputter profiling revisited. Surface and Interface Analysis, 48(13), 1354-1369. doi:10.1002/sia.6039.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-0839-7 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-083A-5
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Hofmann, Siegfried1, Autor           
Liu, Y.2, Autor
Jian, W.2, Autor
Kang, H. L.2, Autor
Wang, J. Y.2, Autor
Affiliations:
1Emeriti and Others, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497650              
2Department of Physics, Shantou University, 243 Daxue Road, Shantou 515063, Guangdong, China, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: Emeriti and Others
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2016-06-082016
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1002/sia.6039
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Surface and Interface Analysis
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: New York, NY : John Wiley & Sons
Seiten: - Band / Heft: 48 (13) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1354 - 1369 Identifikator: ISSN: 0142-2421
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925471358