Large-area fabrication of TiN nanoantenna arrays for refractory plasmonics in 
the mid-infrared by femtosecond direct laser writing and interference 
lithography

Bagheri, Shahin; Zgrabik, Christine M.; Gissibl, Timo; Tittl, Andreas; Sterl, Florian; Walter, Ramon; De Zuani , Stefano; Berrier, Audrey; Stauden, Thomas; Richter, Gunther; Hu, Evelyn L.; Giessen , Harald

doi:10.1364/OME.5.002625

Large-area fabrication of TiN nanoantenna arrays for refractory plasmonics in the mid-infrared by femtosecond direct laser writing and interference lithography

Bagheri, S., Zgrabik, C. M., Gissibl, T., Tittl, A., Sterl, F., Walter, R., De Zuani, S., Berrier, A., Stauden, T., Richter, G., Hu, E. L., & Giessen, H. (2015). Large-area fabrication of TiN nanoantenna arrays for refractory plasmonics in the mid-infrared by femtosecond direct laser writing and interference lithography. Optical materials express, 5(11), 2625-2633. doi:10.1364/OME.5.002625.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-2981-C 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-2982-A

資料種別: 学術論文

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Bagheri, Shahin ¹, 著者
Zgrabik, Christine M. ², 著者
Gissibl, Timo¹, 著者
Tittl, Andreas ¹, 著者
Sterl, Florian¹, 著者
Walter, Ramon¹, 著者
De Zuani , Stefano ³, 著者
Berrier, Audrey ³, 著者
Stauden, Thomas ⁴, 著者
Richter, Gunther⁵, 著者
Hu, Evelyn L.², 著者
Giessen , Harald ¹, 著者

所属:
14th Physics Institute and Research Center SCoPE, University of Stuttgart, Pfaffenwaldring 57, Stuttgart, Germany, ou_persistent22
2School of Engineering and Applied Sciences, Harvard University,, Cambridge, MA 02138, USA, ou_persistent22
31st Physics Institute and Research Center SCoPE, University of Stuttgart, Pfaffenwaldring 57, Stuttgart, Germany, ou_persistent22
4Fachgebiet Nanotechnologie, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany, ou_persistent22
5Central Scientific Facility Thin Film Laboratory, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497640

内容説明

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キーワード: ZWE Dünnschichtlabor

要旨: -

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日付: オンライン出版: 2015-11-01

出版の状態: オンラインで出版済み

ページ: -

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査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: DOI: 10.1364/OME.5.002625

学位: -

訴訟

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出版物名: Optical materials express

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: Washington, DC : OSA

ページ: - 巻号: 5 (11) 通巻号: - 開始・終了ページ: 2625 - 2633 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: その他: 2159-3930
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/21593930

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