Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas

Hecimovic, A.; Maszl, C.; Schulz von der Gathen, V.; Keudell, A. von

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Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas

Hecimovic, A., Maszl, C., Schulz von der Gathen, V., & Keudell, A. v. (2016). Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas. Talk presented at 21st International Colloquium on Plasma Processes (CIP) and the 5th Magnetron Ion Processing & Arc Technologies European Conference (MIATEC). Vienna. 2016-06-26 - 2016-06-30.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-C113-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-C114-A

Genre: Vortrag

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Urheber:
Hecimovic, A.^{1, 2}, Autor
Maszl, C.², Autor
Schulz von der Gathen, V.², Autor
Keudell, A. von², Autor

Affiliations:
1ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856290
2External Organizations, ou_persistent22

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English

Datum: Eingereicht: 2017

Publikationsstatus: Eingereicht

Seiten: -

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Inhaltsverzeichnis: -

Art der Begutachtung: -

Identifikatoren: -

Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 21st International Colloquium on Plasma Processes (CIP) and the 5th Magnetron Ion Processing & Arc Technologies European Conference (MIATEC)

Veranstaltungsort: Vienna

Start-/Enddatum: 2016-06-26 - 2016-06-30

Eingeladen: Ja