Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas

Hecimovic, A.; Maszl, C.; Schulz von der Gathen, V.; Keudell, A. von

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Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas

Hecimovic, A., Maszl, C., Schulz von der Gathen, V., & Keudell, A. v. (2016). Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas. Talk presented at 21st International Colloquium on Plasma Processes (CIP) and the 5th Magnetron Ion Processing & Arc Technologies European Conference (MIATEC). Vienna. 2016-06-26 - 2016-06-30.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-C113-C 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-C114-A

資料種別: 講演

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Hecimovic, A.^{1, 2}, 著者
Maszl, C.², 著者
Schulz von der Gathen, V.², 著者
Keudell, A. von², 著者

所属:
1ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856290
2External Organizations, ou_persistent22

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言語: eng - English

日付: 投稿: 2017

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