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Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT
  Oberflächenprozesse beim Wachstum von a-C:H-Schichten in gepulsten Plasmen

Bauer, M. (2003). Oberflächenprozesse beim Wachstum von a-C:H-Schichten in gepulsten Plasmen. Talk presented at 11. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie. Ilmenau. 2003-03-09 - 2003-03-12.

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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Bauer, M.1, 2, Autor           
Affiliations:
1Centre for Interdisciplinary Plasma Science (CIPS), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_2074325              
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum:
 Publikationsstatus: Keine Angabe
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 112117
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 11. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie
Veranstaltungsort: Ilmenau
Start-/Enddatum: 2003-03-09 - 2003-03-12

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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