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  Wachstumsspezies bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher, wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten

Schwarz-Selinger, T., Bauer, M., Jacob, W., & von Keudell, A. (2005). Wachstumsspezies bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher, wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten. Talk presented at 12. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2005-03-16 - 2005-03-18.

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 Creators:
Schwarz-Selinger, T.1, 2, Author              
Bauer, M.1, 2, Author              
Jacob, W.1, 2, Author              
von Keudell, A.3, Author              
Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              
3External Organizations, ou_persistent22              

Content

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Details

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Language(s): deu - German
 Dates:
 Publication Status: Not specified
 Pages: -
 Publishing info: -
 Table of Contents: -
 Rev. Type: -
 Identifiers: eDoc: 211211
 Degree: -

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Title: 12. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen
Place of Event: Mühlleithen
Start-/End Date: 2005-03-16 - 2005-03-18

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