Chemische Zerstäubung mit reaktiven Ionen

Jacob, W.; Hopf, C.; Schlüter, M.; Schwarz-Selinger, T.

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Chemische Zerstäubung mit reaktiven Ionen

Jacob, W., Hopf, C., Schlüter, M., & Schwarz-Selinger, T. (2008). Chemische Zerstäubung mit reaktiven Ionen. Talk presented at XV. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2008-03-04 - 2008-03-06.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-1D81-E Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-1D82-D

Genre: Vortrag

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Urheber:
Jacob, W.¹, Autor
Hopf, C.², Autor
Schlüter, M.³, Autor
Schwarz-Selinger, T.¹, Autor

Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328
2ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856290
3External Organizations, ou_persistent22