Jacob, W., Hopf, C., Schlüter, M., & Schwarz-Selinger, T. (2008). Chemische Zerstäubung mit reaktiven Ionen. Talk presented at XV. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2008-03-04 - 2008-03-06.