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  Wechselwirkung von atomarem Deuterium mit harten a-C:H Schichten: Isotopenaustausch, Aufhydrierung und Erosion

Schwarz-Selinger, T., Oehrlein, G. S., & Jacob, W. (2009). Wechselwirkung von atomarem Deuterium mit harten a-C:H Schichten: Isotopenaustausch, Aufhydrierung und Erosion. Talk presented at XVI. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2009-03-10 - 2009-03-12.

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 Creators:
Schwarz-Selinger, T.1, Author           
Oehrlein, G. S., Author
Jacob, W.1, Author           
Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

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 Dates:
 Publication Status: Not specified
 Pages: -
 Publishing info: -
 Table of Contents: -
 Rev. Type: -
 Degree: -

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Title: XVI. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen
Place of Event: Mühlleithen
Start-/End Date: 2009-03-10 - 2009-03-12

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