Messungen des Energieeintrages in Prozessplasmen mittels passiver Thermosonden

Wolter, M.; Stahl, M.; Terasa, C.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Kersten, H.

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Messungen des Energieeintrages in Prozessplasmen mittels passiver Thermosonden

Wolter, M., Stahl, M., Terasa, C., Schwarz-Selinger, T., Jacob, W., & Kersten, H. (2009). Messungen des Energieeintrages in Prozessplasmen mittels passiver Thermosonden. Talk presented at XVI. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2009-03-10 - 2009-03-12.

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Item Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-2441-E Version Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-2442-D

Genre: Talk

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Creators:
Wolter, M.¹, Author
Stahl, M.¹, Author
Terasa, C.¹, Author
Schwarz-Selinger, T.², Author
Jacob, W.², Author
Kersten, H.¹, Author

Affiliations:
1Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, ou_persistent22
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328

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Language(s): eng - English

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Publication Status: Not specified

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Table of Contents: -

Rev. Type: -

Identifiers: eDoc: 423578
URI: http://www.iom-leipzig.de/muehlleithen/2009/index.cfm

Degree: -

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Title: XVI. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen

Place of Event: Mühlleithen

Start-/End Date: 2009-03-10 - 2009-03-12

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