Messungen des Energieeintrages in Prozessplasmen mittels passiver Thermosonden

Wolter, M.; Stahl, M.; Terasa, C.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Kersten, H.

Messungen des Energieeintrages in Prozessplasmen mittels passiver Thermosonden

Wolter, M., Stahl, M., Terasa, C., Schwarz-Selinger, T., Jacob, W., & Kersten, H. (2009). Messungen des Energieeintrages in Prozessplasmen mittels passiver Thermosonden. Talk presented at XVI. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2009-03-10 - 2009-03-12.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-2441-E 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-2442-D

資料種別: 講演

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Wolter, M.¹, 著者
Stahl, M.¹, 著者
Terasa, C.¹, 著者
Schwarz-Selinger, T.², 著者
Jacob, W.², 著者
Kersten, H.¹, 著者

所属:
1Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, ou_persistent22
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328

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言語: eng - English

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出版の状態: 不明

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識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 423578
URI: http://www.iom-leipzig.de/muehlleithen/2009/index.cfm

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