Teilchendichtecharakterisierung in einem Wasserstoff und Argon- Wasserstoff 
Plasma

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.

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Teilchendichtecharakterisierung in einem Wasserstoff und Argon- Wasserstoff Plasma

Sode, M., Schwarz-Selinger, T., & Jacob, W. (2011). Teilchendichtecharakterisierung in einem Wasserstoff und Argon- Wasserstoff Plasma. Talk presented at XVIII. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2011-03-08 - 2011-03-10.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-5C0A-F Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-5C0B-E

Genre: Vortrag

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Urheber:
Sode, M.^{1, 2}, Autor
Schwarz-Selinger, T.^{1, 2}, Autor
Jacob, W.^{1, 2}, Autor

Affiliations:
1Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328