Modeling and sensitivity studies of cc-rf CF4 plasma

Bandelow, G.; Schneider, R.; Meichsner, J.

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Modeling and sensitivity studies of cc-rf CF₄ plasma

Bandelow, G., Schneider, R., & Meichsner, J. (2012). Modeling and sensitivity studies of cc-rf CF₄ plasma. Poster presented at 21st Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG 2012), Viana do Castelo.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-8A02-2 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-8A03-1

資料種別: ポスター

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作成者:
Bandelow, G.¹, 著者
Schneider, R.², 著者
Meichsner, J.³, 著者

所属:
1Max Planck Society, ou_persistent13
2External Organizations, ou_persistent22
3Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald, ou_persistent22

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言語: eng - English

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出版の状態: 不明

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識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 610678

学位: -

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