Modeling and sensitivity studies of cc-rf CF4 plasma

Bandelow, G.; Schneider, R.; Meichsner, J.

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Modeling and sensitivity studies of cc-rf CF₄ plasma

Bandelow, G., Schneider, R., & Meichsner, J. (2012). Modeling and sensitivity studies of cc-rf CF₄ plasma. Poster presented at 21st Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG 2012), Viana do Castelo.

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-8A02-2 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-8A03-1

Genre: Poster

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Urheber:
Bandelow, G.¹, Autor
Schneider, R.², Autor
Meichsner, J.³, Autor

Affiliations:
1Max Planck Society, ou_persistent13
2External Organizations, ou_persistent22
3Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald, ou_persistent22

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Sprache(n): eng - English

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Publikationsstatus: Keine Angabe

Seiten: -

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Inhaltsverzeichnis: -

Art der Begutachtung: -

Identifikatoren: eDoc: 610678

Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 21st Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG 2012)

Veranstaltungsort: Viana do Castelo

Start-/Enddatum: 2012-07-10 - 2012-07-14

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