Quantitative Ionendichtebestimmung mit einem energieauflösenden 
Massenspektrometer Grenzen und Möglichkeiten

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Kersten, H.

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Quantitative Ionendichtebestimmung mit einem energieauflösenden Massenspektrometer Grenzen und Möglichkeiten

Sode, M., Schwarz-Selinger, T., Jacob, W., & Kersten, H. (2013). Quantitative Ionendichtebestimmung mit einem energieauflösenden Massenspektrometer Grenzen und Möglichkeiten. Talk presented at XX. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2013-03-05 - 2013-03-08.

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Item Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-67F9-4 Version Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-67FA-3

Genre: Talk

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Creators:
Sode, M.¹, Author
Schwarz-Selinger, T.¹, Author
Jacob, W.¹, Author
Kersten, H.², Author

Affiliations:
1Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327
2Max Planck Society, ou_persistent13

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Language(s): deu - German

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Identifiers: eDoc: 635208

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Title: XX. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen

Place of Event: Mühlleithen

Start-/End Date: 2013-03-05 - 2013-03-08

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