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  Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers

Matoy, K., Schönherr, H., Detzel, T., & Dehm, G. (2010). Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers. Thin Solid Films, 518(20), 5796-5801. doi:10.1016/j.tsf.2010.05.114.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-925B-4 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-9264-9
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Matoy, Kurt1, 2, 3, Autor           
Schönherr, Helmut4, Autor           
Detzel, Thomas5, Autor           
Dehm, Gerhard6, 7, Autor           
Affiliations:
1Kompetenzzentrum Automobil- und Industrie-Elektronik GmbH, A-9524 Villach, Austria, ou_persistent22              
2Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, A-8700 Leoben, Austria, ou_persistent22              
3Department of Materials Physics, Montanuniversität Leoben, Leoben, Austria, ou_persistent22              
4Infineon Technologies AG Austria, Villach, Austria, ou_persistent22              
5Infineon Technologies Austria AG, A-9500 Villach, Austria, ou_persistent22              
6Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Leoben, Austria, ou_persistent22              
7Department of Materials Physics, Montanuniversität Leoben, Austria, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2010-06-042010-08-02
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1016/j.tsf.2010.05.114
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
  Kurztitel : Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 518 (20) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 5796 - 5801 Identifikator: ISSN: 0040-6090
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925449792