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  Microstructural size effects on the hardness of nanocrystalline TiN/amorphous-SiNx coatings prepared by magnetron sputtering

Kauffmann, F., Dehm, G., Schier, V., Schattke, A., Beck, T., Lang, S., et al. (2005). Microstructural size effects on the hardness of nanocrystalline TiN/amorphous-SiNx coatings prepared by magnetron sputtering. Thin Solid Films, 473(1), 114-122. doi:10.1016/j.tsf.2004.08.080.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-7EAE-F Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-7EAF-E
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Kauffmann, Florian1, Autor           
Dehm, Gerhard1, Autor           
Schier, Veit2, Autor           
Schattke, Alexander3, Autor           
Beck, Tobias4, Autor           
Lang, Stéphane2, Autor           
Arzt, Eduard1, 5, Autor           
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              
2Walter AG, Derendinger Str. 53, 72072 Tübingen, Germany, persistent22              
3Robert Bosch GmbH, Postfach 10 60 50, 70049 Stuttgart, Germany, persistent22              
4Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497645              
5Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2005-02-01
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 240307
DOI: 10.1016/j.tsf.2004.08.080
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
  Kurztitel : Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Lausanne, Switzerland, etc. : Elsevier
Seiten: - Band / Heft: 473 (1) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 114 - 122 Identifikator: ISSN: 0040-6090
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925449792