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Contamination of chip surfaces by particles during destructive physical analysis of integrated circuit devices

Weimer, J., Kokosinski, J., Cook, M., & Grunze, M. (1988). Contamination of chip surfaces by particles during destructive physical analysis of integrated circuit devices. In K. L. Mittal (Ed.), Particles on Surfaces 1 (pp. 69-76). New York [u.a.]: Plenum Pr.

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-8E5D-8 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-8E5E-7

Genre: Buchkapitel

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Mittal_1988_ParticlesSurfaces1_69.pdf (beliebiger Volltext), 577KB

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Mittal_1988_ParticlesSurfaces1_69.pdf

Beschreibung:
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OA-Status:

Sichtbarkeit:
Eingeschränkt (Max Planck Institute for Medical Research, MHMF; )

MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf

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Lizenz:
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Externe Referenzen

Urheber

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Urheber:
Weimer, J.J., Autor
Kokosinski, J., Autor
Cook, M.R., Autor
Grunze, M.¹, Autor

Affiliations:
1Cellular Biophysics, Max Planck Institute for Medical Research, Max Planck Society, ou_2364731

Inhalt

Details

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Sprache(n): eng - English

Datum: Erschienen: 1988

Publikationsstatus: Erschienen

Seiten: 8

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Inhaltsverzeichnis: -

Art der Begutachtung: -

Identifikatoren: -

Art des Abschluß: -

Veranstaltung

Entscheidung

Projektinformation

Quelle 1

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Titel: Particles on Surfaces 1

Genre der Quelle: Buch

Urheber:
Mittal, K. L., Herausgeber

Affiliations:
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Ort, Verlag, Ausgabe: New York [u.a.] : Plenum Pr

Seiten: IX, 384 Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 69 - 76 Identifikator: ISBN: 0-306-43030-4